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高功率磁控濺射(HiPIMS) 制備ITO柔性膜

新鉑自研HiPIMS及同步復(fù)頻Bias電源，提高鍍膜結(jié)合力！

磁控電源 HiPIMS-1500

輸出功率：40kW，脈沖電壓范圍：200~1000V，脈沖峰值電流：1500A，脈沖頻率范圍：20~1000Hz，脈沖脈寬范圍：10~300uS，直流電壓范圍：100~750V，直流電流：40A，模塊同步：光纖

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