HIPIMS技術(shù)沉積TiSiN納米復(fù)合涂層探究
HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering,高功率脈沖磁控濺射)薄膜沉積方法,它在沉積TiSiN納米復(fù)合涂層方面展現(xiàn)出顯著的優(yōu)勢。與傳統(tǒng)的直流磁控濺射(DCMS)技術(shù)相比,
hipims脈沖電源與DC優(yōu)勢
HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)脈沖電源與DC(Direct Current)電源相比,在多個方面展現(xiàn)出顯著的優(yōu)勢。以下是對這些優(yōu)勢的詳細分析:
hipims脈沖電源控制模式
HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)脈沖電源控制模式是一種在薄膜沉積技術(shù)中廣泛應(yīng)用電源控制方式。
HIPIMS技術(shù)在金屬雙極板涂層中的應(yīng)用
HIPIMS技術(shù),即高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(High Power Impulse Magnetron Sputtering),在金屬雙極板涂層中的應(yīng)用具有顯著的優(yōu)勢
真空鍍膜工藝流程:技術(shù)概述、參數(shù)控制與質(zhì)量影響
真空鍍膜工藝是一種常用的表面處理技術(shù),可以在材料表面形成一層高質(zhì)量、均勻的薄膜。其工藝流程包括清洗、加熱、真空抽氣、沉積、
利用HiPIMS制備出的Ti-Si-N薄膜硬度可以達到66GPa!
Ti-Si-N是被認為是一種高硬度的膜層,Veprek(1999)提出了一種結(jié)構(gòu)模型,認為是非晶包含納米晶結(jié)構(gòu)。這有點類似于我們見到的瀝青和石頭混合路面結(jié)構(gòu)。這里的納米晶尺寸和非晶含量的多少是很講究的。
HiPIMS技術(shù)解決碳基涂層
HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)技術(shù)是一種先進的物理相沉積(PVD)技術(shù),廣泛用于解決碳基涂層的相關(guān)問題。碳基涂層是一種重要的功能性涂層,應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域,包括刀具、模具、汽車零部件等。下面將詳細介紹HiPIMS技術(shù)如何解決碳基涂層的問題。